Korrekturwert bei Beschleunigung in positiver Verfahrrichtung (P-COMP-00087)

P-COMP-00087

Korrekturwert bei Beschleunigung in positiver Verfahrrichtung

Beschreibung

Korrekturwert an Position i bei Beschleunigung in positiver Verfahrrichtung.

Parameter

kw.crosstalk.position[i].correction_accelerate_dir_pos

Datentyp

SGN64

Datenbereich

MIN(SGN64) ≤ P-COMP-00087 < MAX(SGN64)

Achstypen

T-

Dimension

T: [0.1 µm]

R, S: -

Standardwert

0

Anmerkungen

Parameter verfügbar ab V3.1.3081.2 bzw. V3.1.3108.4