Korrekturwert bei Beschleunigung in negativer Verfahrrichtung (P-COMP-00088)

P-COMP-00088

Korrekturwert bei Beschleunigung in negativer Verfahrrichtung

Beschreibung

Korrekturwert an Position i bei Beschleunigung in negativer Verfahrrichtung..

Parameter

kw.crosstalk.position[i].correction_accelerate_dir_neg

Datentyp

SGN64

Datenbereich

MIN(SGN64) ≤ P-COMP-00088 < MAX(SGN64)

Achstypen

T

Dimension

T: [0.1 µm]

R, S: -

Standardwert

0

Anmerkungen

Parameter verfügbar ab V3.1.3081.2 bzw. V3.1.3108.4

Dieser Parameter wird nur wirksam, wenn P-COMP-00084 aktiviert ist.