Korrekturwert bei Beschleunigung in negativer Verfahrrichtung (P-COMP-00088)
P-COMP-00088 | Korrekturwert bei Beschleunigung in negativer Verfahrrichtung | |
Beschreibung | Korrekturwert an Position i bei Beschleunigung in negativer Verfahrrichtung.. | |
Parameter | kw.crosstalk.position[i].correction_accelerate_dir_neg | |
Datentyp | SGN64 | |
Datenbereich | MIN(SGN64) ≤ P-COMP-00088 < MAX(SGN64) | |
Achstypen | T | |
Dimension | T: [0.1 µm] | R, S: - |
Standardwert | 0 | |
Anmerkungen | Parameter verfügbar ab V3.1.3081.2 bzw. V3.1.3108.4 Dieser Parameter wird nur wirksam, wenn P-COMP-00084 aktiviert ist. |